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等離子弧電源
Multi Arc Power Supply
精新電源出產的等離子弧電源在傳統的弧電源基礎上,通過獨創的延面擊穿方式引弧,克服了傳統蒸發鍍工藝中需要使用鎢絲等材料引弧而對膜層造成污染等問題。
JX-AM-D直流多弧離子鍍
適用于硬質鍍膜、裝飾鍍膜、軍工鍍制高溫熱障涂層
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JX-AM-P單極脈沖多弧離子鍍
本電源已結合電子引弧電源和磁場掃描電源,可實現氧化膜金屬靶不中毒、不熄弧
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JX-AM-DP直流疊加脈沖
適用于輔助陰極弧工藝,在鍍硬質膜、DLC膜等工藝中有優異表現
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JX-AM-HP高功率脈沖
峰值電流可達10000A,適用于半導體DLC涂層或離子注入等高要求工藝
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JX-AM-FM多功能多弧離子鍍
三種輸出脈沖波形,增加脈沖波形選擇靈活性。
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